材料純度高,低揮發(fā)、低析出,避免顆粒、雜質污染晶圓、芯片及高潔凈腔體,抵抗半導體工藝中常見的強酸(如硫酸、氫氟酸)、強堿、有機溶劑、清洗劑、等離子體氣體等腐蝕
確保密封件長期穩(wěn)定,尺寸精度高,我司可按圖紙定制微小/異形截面,適配精密半導體設備密封槽。
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